ウェファー・アンダーバンプレイヤー形成装置 (バリアーメタルめっき装置)

写真−１	ＵＢＬウエットベンチ（写真-１）はウェファー上のアンダーバンプレイヤーの品質確認とプロットタイプの開発を目的に開発されました。 ８槽のプロセスセルはそれぞれ自動液供給、２段フィルター、リンス水の自動廃棄等の機構を有しています。SEMI-S2-93基準に対応しており、また安全性と環境関連に関してはH7ファシリティー設置基準とクラス10,000のクリーンルームに対応しています。サイズは長さ4.8m、奥行き2.4mです。
写真-２	ＵＢＬ量産処理装置（写真-２） 無電解ニッケル5ミクロン、金1000Åで1時間当り400ウェファーの処理が可能です。

プロセス開発：

UBL（バリアーメタル形成）のプロセス開発に対応いたします。e-mail:info@technic-japan.co.jp或いは資料請求フォームにて御連絡ください。

テクニＵＢＬプロセス	一般的なジンケート処理
Pad部に均一に置換金が析出	パッド部の置換金が黒色化