リアルタイムアナライザー（RTA） めっき液自動分析システム （電解銅めっき液）

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リアルタイムアナライザー（ＲＴＡ）は交流ボルタンメトリーに着目した新しい電気化学的分析機器です。直流ボルタンメトリーをベースにした分析機器としてＣＶＳが知られますが、この方法から得られる電気化学的な情報は非常に限られ、添加剤の濃度を間接的に計算するにとどまっていました。

テクニックでは、交流ボルタンメトリーが従来考えられていたより遥かに広範囲に適用可能であるという発見を基に開発に着手し、第一段階として、その豊富な電気化学的情報を駆使して銅ダマシン加工に適した高精度な電解銅めっき液自動分析システムを開発致しました。

３本の電極が入ったプローブを貯液タンクに浸漬しておくだけで、電解銅めっき液中の銅、硫酸、塩素、サープレッサー、アクセレレター等の全成分をリアルタイムに分析し、めっき品質の安定に貢献します。

図中の線の説明：
-□-	Actual	既知分析値
-○-	Predicted	RTA分析値

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