バンプめっき装置

　

特徴：

1. SEMI S-93A及びFactory Mutual Fire Standard準拠
2. モジュール設計により、拡張性が高い。
3. テストベンチで性能確認が可能。
4. フローの制御が、温度分布の均一化、微細気泡の除去に貢献。
5. アノードとワークの距離の調整が可。
6. めっき液の自動分析器（交流ボルタンメトリーの応用、開発中）。